氮化钛靶材（TiN）
五氧化二钽靶材（Ta2O5）
氮化钪靶材（ScN）
氧化钪靶材（Sc2O3)
锆钛酸铅靶材（PZT）
锰锌铁氧靶材（MnZnFeO）
镍酸锂靶材（LiNiO2)
磷酸铁锂靶材（LiFeO4）
氧化铟锡靶材 ITO (InSnO)
二碳化三铬（Cr2C3）
氮化铝钪靶材（AlScN）
金属钌靶材（Ru）
