氧化铪靶材 HfO2
| 氧化铪靶材 | |||
| 化学式 | HfO2 | 晶体结构 | |
| 摩尔质量 | 210.49 g·mol⁻¹ | 空间群 | |
| 外观 | 白色 | 警示术语 | |
| 密度 | 9.68 g/cm3 (固) | 安全术语 | |
| 熔点 | 2758 °C | 欧盟编号 | |
| 沸点 | 5400 °C | LD50（中位剂量） | |
| 溶解性（水） | 不溶于水 | CAS号 | 12055-23-1 |
| 若非注明，所有数据均出自一般条件（25 ℃，100 kPa）下。 | |||
| 氧化物溅射靶材 | ||||
| 材料名称 | 化学符号 | 纯度 | 规格 | 生产方法 |
| 氧化铝 | Al2O3 | 4N | 平面靶，按图纸定制 | 粉末烧结法 |
| 氧化铋 | Bi2O3 | 3N，4N | 平面靶，按图纸定制 | 粉末烧结法 |
| 氧化铬 | Cr2O3 | 3N | 平面靶，按图纸定制 | 粉末烧结法 |
| 氧化钴 | CoO | 3N | 平面靶，按图纸定制 | 粉末烧结法 |
| 氧化铜 | CuO, Cu2O | 3N | 平面靶，按图纸定制 | 粉末烧结法 |
| 氧化铁 | Fe2O3, Fe3O4 | 3N | 平面靶，按图纸定制 | 粉末烧结法 |
| 氧化镓 | Ga2O3 | 4N | 平面靶，按图纸定制 | 粉末烧结法 |
| 氧化锗 | GeO2 | 4N,5N | 平面靶，按图纸定制 | 粉末烧结法 |
| 氧化铪 | HfO2 | 4N | 平面靶，按图纸定制 | 粉末烧结法 |
| 氧化铟 | In2O3 | 4N | 平面靶，按图纸定制 | 粉末烧结法 |
| 氧化锂 | Li2O | 4N | 平面靶，按图纸定制 | 粉末烧结法 |
| 氧化镁 | MgO | 4N | 平面靶，按图纸定制 | 粉末烧结法 |
| 氧化锰 | MnO2,Mn3O4 | 2N5,3N | 平面靶，按图纸定制 | 粉末烧结法 |
| 氧化钼 | MoO, MoO3 | 3N,3N5 | 平面靶，按图纸定制 | 粉末烧结法 |
| 氧化铌 | Nb2O5,NbOx | 4N | 平面靶，按图纸定制 | 粉末烧结法 |
| 氧化镍 | NiO | 3N | 平面靶，按图纸定制 | 粉末烧结法 |
| 氧化铅 | PbO | 4N | 平面靶，按图纸定制 | 粉末烧结法 |
| 氧化锑 | Sb2O3 | 4N,5N | 平面靶，按图纸定制 | 粉末烧结法 |
| 氧化硅 | SiO, SiO2 | 4N,5N | 平面靶，按图纸定制 | 熔炼法 |
| 氧化锡 | SnO,SnO2,SnOx | 4N | 平面靶，按图纸定制 | 粉末烧结法 |
| 氧化钽 | Ta2O5,Ta2Ox | 4N | 平面靶，按图纸定制 | 粉末烧结法 |
| 氧化碲 | TeO2 | 4N,5N | 平面靶，按图纸定制 | 粉末烧结法 |
| 氧化钛 | TiO, TiO2,TiOx | 4N | 平面靶，按图纸定制 | 粉末烧结法 |
| 二氧化钒 | VO2 | 3N | 平面靶，按图纸定制 | 粉末烧结法 |
| 氧化钒 | V2O5 | 3N | 平面靶，按图纸定制 | 粉末烧结法 |
| 氧化钨 | WO2.9, WO3 | 3N,4N | 平面靶，按图纸定制 | 粉末烧结法 |
| 氧化锌 | ZnO | 3N,4N | 平面靶，按图纸定制 | 粉末烧结法 |
| 氧化锆 | ZrO2 | 3N5 | 平面靶，按图纸定制 | 粉末烧结法 |
| 钇铁氧靶材 | Y3Fe5O12 | 3N | 平面靶，按图纸定制 | 粉末烧结法 |
| 铥铁氧靶材 | Tm3Fe5O12 | 2N5 | 平面靶，按图纸定制 | 粉末烧结法 |
| 稀土氧化物靶材 | ||||
| 氧化镧 | La2O3 | 4N | 平面靶，按图纸定制 | 粉末烧结法 |
| 氧化铈 | CeO2 | 4N | 平面靶，按图纸定制 | 粉末烧结法 |
| 氧化镨 | Pr6O11 | 4N | 平面靶，按图纸定制 | 粉末烧结法 |
| 氧化钕 | Nd2O3 | 4N | 平面靶，按图纸定制 | 粉末烧结法 |
| 氧化钐 | Sm2O3 | 4N | 平面靶，按图纸定制 | 粉末烧结法 |
| 氧化钆 | Gd2O3 | 4N | 平面靶，按图纸定制 | 粉末烧结法 |
| 氧化铽 | Tb4O7 | 4N | 平面靶，按图纸定制 | 粉末烧结法 |
| 氧化镝 | Dy2O3 | 4N | 平面靶，按图纸定制 | 粉末烧结法 |
| 氧化钬 | Ho2O3 | 4N | 平面靶，按图纸定制 | 粉末烧结法 |
| 氧化铒 | Er2O3 | 4N | 平面靶，按图纸定制 | 粉末烧结法 |
| 氧化铥 | Tm2O3 | 4N | 平面靶，按图纸定制 | 粉末烧结法 |
| 氧化镱 | Yb2O3 | 4N | 平面靶，按图纸定制 | 粉末烧结法 |
| 氧化镥 | Lu2O3 | 4N | 平面靶，按图纸定制 | 粉末烧结法 |
| 氧化钇 | Y2O3 | 4N | 平面靶，按图纸定制 | 粉末烧结法 |
| 氧化钪 | Sc2O3 | 4N | 平面靶，按图纸定制 | 粉末烧结法 |
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