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硼化钛靶材(TiB2)

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硼化钛(TiB2)是硼和钛最稳定的化合物,为C32型结构,以其价键形式结合,属六方晶系的准金属化合物。其完整晶体的结构参数为:a为0.3028nm,C为0.3228nm。晶体结构中的硼原子面和钛原子面交替出现构成二维网状结构,其中的B与另外3个B以共价键相结合,多余的一个电子形成大π键。这种类似于石墨的硼原子层状结构和Ti外层电子决定了TiB2具有良好的导电性和金属光泽,而硼原子面和钛原子面之间Ti-B键决定了这种材料的高硬度和脆性的特点。

硼化物溅射靶材
材料名称化学符号纯度规格 生产方法
硼化铝AlB2N5平面靶,按图纸定制粉末烧结法
硼化钴CoB

2N5

平面靶,按图纸定制粉末烧结法
硼化铬Cr2B,CrB2
     CrB, Cr5B3
2N5平面靶,按图纸定制粉末烧结法
硼化铁FeB2N5平面靶,按图纸定制粉末烧结法
硼化铪HfB22N5平面靶,按图纸定制粉末烧结法
硼化镧LaB62N5平面靶,按图纸定制粉末烧结法
硼化钼Mo2B,Mo2B52N5平面靶,按图纸定制粉末烧结法
硼化钕NdB, NdB22N5平面靶,按图纸定制粉末烧结法
硼化钽TaB, TaB22N5平面靶,按图纸定制粉末烧结法
硼化钛TiB22N5平面靶,按图纸定制粉末烧结法
硼化钒VB, VB22N5平面靶,按图纸定制粉末烧结法
硼化钨WB, WB22N5平面靶,按图纸定制粉末烧结法
硼化锆ZrB22N5平面靶,按图纸定制粉末烧结法
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