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磷化硅靶材(SiP)

3SiP.png


磷化物溅射靶材
材料名称化学符号纯度规格 生产方法
磷化硼BP4N平面靶,按图纸定制粉末烧结法
磷化铜CuP

5N

平面靶,按图纸定制粉末烧结法
磷化镓GaP5N平面靶,按图纸定制粉末烧结法
磷化锗GeP5N平面靶,按图纸定制粉末烧结法
磷化铟InP5N平面靶,按图纸定制粉末烧结法
磷化钼MoP4N平面靶,按图纸定制粉末烧结法
磷化铌NbP4N平面靶,按图纸定制粉末烧结法
磷化镍NiP4N平面靶,按图纸定制粉末烧结法
磷化钽TaP4N平面靶,按图纸定制粉末烧结法
磷化硅SiP5N平面靶,按图纸定制粉末烧结法
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