磷化硅靶材(SiP)
磷化物溅射靶材 | ||||
材料名称 | 化学符号 | 纯度 | 规格 | 生产方法 |
磷化硼 | BP | 4N | 平面靶,按图纸定制 | 粉末烧结法 |
磷化铜 | CuP | 5N | 平面靶,按图纸定制 | 粉末烧结法 |
磷化镓 | GaP | 5N | 平面靶,按图纸定制 | 粉末烧结法 |
磷化锗 | GeP | 5N | 平面靶,按图纸定制 | 粉末烧结法 |
磷化铟 | InP | 5N | 平面靶,按图纸定制 | 粉末烧结法 |
磷化钼 | MoP | 4N | 平面靶,按图纸定制 | 粉末烧结法 |
磷化铌 | NbP | 4N | 平面靶,按图纸定制 | 粉末烧结法 |
磷化镍 | NiP | 4N | 平面靶,按图纸定制 | 粉末烧结法 |
磷化钽 | TaP | 4N | 平面靶,按图纸定制 | 粉末烧结法 |
磷化硅 | SiP | 5N | 平面靶,按图纸定制 | 粉末烧结法 |
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