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氮化硼靶材(BN)

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氮化物靶材
材料名称化学符号纯度规格 生产方法
氮化铝AlN2N5平面靶,按图纸定制粉末烧结法
氮化硼BN

2N5

平面靶,按图纸定制粉末烧结法
氮化铬CrN2N5平面靶,按图纸定制粉末烧结法
氮化镓GaN2N5平面靶,按图纸定制粉末烧结法
氮化铪HfN2N5平面靶,按图纸定制粉末烧结法
氮化铌NbN2N5平面靶,按图纸定制粉末烧结法
氮化硅Si3N42N5,3N平面靶,按图纸定制粉末烧结法
氮化钽TaN2N5平面靶,按图纸定制粉末烧结法
氮化钛TiN2N5平面靶,按图纸定制粉末烧结法
氮化钒VN2N5平面靶,按图纸定制粉末烧结法
氮化锆ZrN2N5平面靶,按图纸定制粉末烧结法
氮化铝钪AlScN3N,4N平面靶,按图纸定制粉末烧结法
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