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氮化钽靶材(TaN)

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用来制造精确片状电阻的材料,氮化钽电阻则可抵抗水汽的侵蚀。 在制造集成电路的过程中,这些膜沉积在硅晶片的顶部,以形成薄膜表面贴装电阻。