5G芯片用靶材/5G通信用靶材主要是指制作氮化铝钪薄膜用靶材，目前有2种镀膜工艺，一种是反应溅射，直接用铝钪合金靶材通过反应溅做出氮化铝钪合金膜，另一种是采用直接镀膜工艺，采用氮化铝钪靶材直接做出氮化铝钪薄膜。两种方法各有优缺点，都是不错的选择，科泰新材料为不同客户提供不同的选择，科泰开发的铝钪合金靶和氮化铝钪靶都能很好的满足用户要求。
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