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锆钴铈镧钕镨靶材（Zr-Co-Ce-La-Nd-Pr）

锆钴铈镧钕镨靶材（Zr-Co-Ce-La-Nd-Pr）
  • 锆钴铈镧钕镨靶材（Zr-Co-Ce-La-Nd-Pr）
锆钴铈镧钕镨靶材（Zr-Co-Ce-La-Nd-Pr）基本信息
分子式ZrCoCeLaNdPr
纯度99.9%
CAS号无独立 CAS 号
摩尔质量无固定摩尔质量
密度5.6~6.4 g/cm³
熔点宽熔程，熔化区间约 950~1350 ℃
沸点无固定沸点
溶解性（水）不溶于水；常温在干燥环境下稳定；稀酸可缓慢腐蚀；可被浓盐酸、氢氟酸、王水快速腐蚀；稀土组分遇水、湿气易氧化

锆钴铈镧钕镨靶材（Zr-Co-Ce-La-Nd-Pr）产品概况

锆钴铈镧钕镨靶材为磁控溅射 PVD 金属合金靶，采用高纯 Zr、Co、Ce、La、Nd、Pr 金属原料，真空电弧熔炼或粉末冶金热压 / HIP 热等静压制备；可加工圆靶、方靶，可绑定铜背板。 具备金属导电性，支持 DC 直流溅射，也可 RF 射频溅射；钴提供磁性，镧、铈、钕、镨多种稀土组合，赋予薄膜高吸气活性、可调磁性能；靶材极易氧化，储存与溅射必须真空 / 惰性气氛保护，防止稀土元素氧化生成稀土氧化物。

区分：普通二元 / 三元 ZrCo 稀土靶为成熟配方；六元 ZrCoCeLaNdPr 属于高度定制靶，工业量产极少，基本用于前沿科研。


锆钴铈镧钕镨靶材（Zr-Co-Ce-La-Nd-Pr）产品应用

薄膜应用：
1. 真空吸气薄膜（核心）：制备高活性吸气剂薄膜，用于真空器件、微型真空传感器、MEMS 真空封装，吸附 H₂、CO、H₂O 等残余气体。
2. 磁性功能薄膜：多元稀土磁性薄膜，磁光、磁存储、软磁 / 硬磁薄膜基础研究。
3. 催化薄膜：多稀土复合催化涂层，气体催化、尾气催化材料研发。
4. MEMS 微纳器件：微型传感器电极、功能活性层。
5. 耐腐蚀、储氢薄膜：储氢材料、特种防护涂层科研。
6. 科研实验：磁控溅射、PLD 脉冲激光沉积，多元稀土合金薄膜、非晶合金薄膜机理研究。

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