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锆钴钇镧铈靶材（Zr-Co-Y-La-Ce）

锆钴钇镧铈靶材（Zr-Co-Y-La-Ce）
  • 锆钴钇镧铈靶材（Zr-Co-Y-La-Ce）
锆钴钇镧铈靶材（Zr-Co-Y-La-Ce）基本信息
分子式ZrCoYLaC
纯度99.9%
CAS号无独立 CAS 号
摩尔质量无固定摩尔质量
密度5.5~6.3 g/cm³
熔点宽熔程，熔化区间约 980~1380 ℃
沸点无固定沸点
溶解性（水）不溶于水；干燥常温下稳定；稀酸缓慢腐蚀；可被浓盐酸、氢氟酸、王水快速腐蚀；稀土组分接触水汽、高温易氧化

锆钴钇镧铈靶材（Zr-Co-Y-La-Ce）产品概况

锆钴钇镧铈靶材为磁控溅射 PVD 金属合金靶，采用高纯 Zr、Co、Y、La、Ce 金属原料，采用真空电弧熔炼或者粉末冶金热压 / HIP 热等静压制备，可加工圆靶、方靶，可绑定铜背板。 材料具备金属导电性，支持 DC 直流溅射，也可 RF 射频溅射；钴提供磁性，Y、La、Ce 多种稀土组合赋予薄膜高吸气活性，同时提升抗氧化性能；靶材化学活性高，储存与溅射必须真空 / 惰性气氛保护，防止稀土氧化生成稀土氧化物。



锆钴钇镧铈靶材（Zr-Co-Y-La-Ce）产品应用

薄膜应用：
1. 真空吸气薄膜（核心）：制备高活性吸气剂薄膜，用于 MEMS 真空封装、微型真空传感器、小型真空器件，吸附 H₂、H₂O、CO 等残余气体。
2. 多元稀土磁性薄膜：软磁 / 硬磁、磁光薄膜基础研究。
3. 催化薄膜：复合稀土催化涂层，气体催化、尾气净化材料研发。
4. MEMS 微纳器件：微型传感器电极、功能活性层。
5. 高温抗氧化涂层：特种构件高温防护薄膜研发。
6. 科研实验：磁控溅射、PLD 脉冲激光沉积，多元稀土合金、非晶合金薄膜机理研究。

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