铬钛合金靶材（CrTi）产品概况

        铬钛合金（Cr-Ti）靶材是一种以高纯度铬（Cr）和钛（Ti）金属为原料，通过精密组分设计（典型比例：Cr 70-85%，Ti 15-30%，可调）及先进真空熔炼/热等静压（HIP）工艺制备的高韧性耐蚀合金溅射靶材。该靶材具备超高纯度（≥99.95%）、纳米级双相均匀结构、极致致密度（＞99%理论密度） 及可控的体心立方（BCC）-密排六方（HCP）复合晶相，确保其在磁控溅射（DC/HiPIMS）、电弧蒸镀等PVD工艺中：成膜速率高、膜层结合力优异、成分偏差＜1%、表面平整无颗粒缺陷

核心价值源于 Cr-Ti 合金薄膜的双相协同强化机制：

➊ 极端环境防腐屏障

      Ti元素催化形成致密Cr₂O₃-TiO₂纳米复合钝化膜，赋予薄膜：
      ＞20,000ppm Cl⁻耐受性**（超越哈氏合金C276的3倍）
      抗沸腾浓硝酸/氢氟酸混合侵蚀（腐蚀速率＜0.01mm/年）
      耐熔融金属（铝/锌）附着腐蚀

➋ 抗高温氧化/烧蚀
      Cr-Ti共氧化形成尖晶石结构（Cr₂TiO₅），将抗氧化温度提升至1100℃（较纯Cr提升150℃），高温硬度保持率＞85%。

➌ 强韧一体化耐磨层
      Ti的HCP相吸收冲击能，Cr的BCC相提供支撑，实现：
      超高硬度（Hv 1400-1800）与断裂韧性（KIC＞8MPa·m¹/²）平衡
      抗微动磨损寿命提升10倍（载荷50N，振幅100μm）

➍ 真空防粘附特性
      Ti抑制高温铬挥发，形成非粘性氧化表层，摩擦系数稳定在μ＜0.15（800℃真空环境）。

CrTi合金常用于制备（CrTi）N复合薄膜，由于（CrTi）N薄膜具有高硬度,高温抗氧化性和低摩擦系数的特性,多应用于金属复合涂层和陶瓷涂层。
​◉ 半导体核心装备防护​
刻蚀机腔体/喷淋头抗等离子体侵蚀涂层（耐受CF₄/O₂混合等离子体）
晶圆传输机械手耐颗粒磨耗层
◉ ​航空航天热端部件​
火箭发动机喷管喉衬抗烧蚀镀层（＞2500℃燃气环境）
高超音速飞行器前缘防氧化/抗粒子侵蚀膜
◉ ​新能源装备长寿面防护​
铝电解槽阴极钢棒抗熔融铝侵蚀层（寿命＞10年）
核聚变装置第一壁抗氢同位素渗透壁垒层
◉ ​特种工业耐蚀部件​
湿法冶金电极板强耐酸镀层（98% H₂SO₄，80℃）
化工阀门密封面抗气蚀/抗冲刷涂层
​◉ 生物医疗功能表面​
骨科植入器械生物惰性耐磨层（符合ASTM F756生物相容性标准）
手术机器人关节防黏附真空镀膜