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钴铁合金靶材（Co-Fe）

钴铁合金靶材（Co-Fe）
  • 钴铁合金靶材（Co-Fe）
钴铁合金靶材（Co-Fe）基本信息
分子式Co-Fe
纯度99.5%
CAS号
摩尔质量
密度
熔点
沸点
溶解性（水）

钴铁合金靶材（Co-Fe）产品概况

        钴铁合金（Co-Fe）靶材采用超高纯度钴（≥99.995%）和羰基铁粉（≥99.98%）为原料，通过真空感应熔炼+控氧热轧工艺制备的高频软磁功能溅射靶材。核心特性包括：

•精密组分调控（Fe 30-50at.% 可调，零磁致伸缩点精确控制）

•纳米晶结构（晶粒尺寸 10-50nm，非晶含量＜5%）

•超低磁损耗（矫顽力 Hc＜0.5 Oe，电阻率 **＞80μΩ·cm**)

•极限纯度（O＜30ppm, S＜10ppm, C＜20ppm）
    在超高真空磁控溅射中实现 1MHz高频磁导率＞5,000，薄膜厚度均匀性偏差 ＜±1.5%（4英寸晶圆）。

核心价值源自钴铁薄膜的电磁协同优化机制

◉ 超高频低损耗特性.

•1MHz磁导率 u>5,000(较铁硅铝提升10倍)

·高频涡流损耗 <100kW/m'@1MHz(突破硅钢片物理极限)

◉ 精密磁性能调控

·饱和磁通密度 Bs=2.4T(接近理论极限值)

·磁导率温度系数 **|αμ|<0.001%/°℃**(-55℃℃~200℃C)

◉ 极端环境稳定性

·抗辐射性能(100kGy y辐照后u衰减率<3%)

·耐湿热特性(85°C/85%RH 1000小时Hc变化<5%)


钴铁合金靶材（Co-Fe）产品应用

主导应用覆盖高频电力电子与尖端传感器​
◉ ​新一代电力转换系统​
▸ 5G基站GaN射频功放电感磁芯薄膜（工作频率 ​**＞10MHz**）
▸ 新能源车电驱纳米晶磁屏蔽层（EMI抑制 ​**＞40dB**）
◉ ​超高密度磁存储器​
▸ 磁性隧道结（MTJ）自由层材料（隧道磁阻 ​TMR＞250%​）
▸ 自旋轨道矩存储器写入层（电流密度 ​​＜5×10⁶A/cm²）
◉ ​生物医学传感芯片​
▸ 磁微粒标记检测传感器磁通门（灵敏度 ​​＜100nT）
▸ 植入式神经刺激器磁屏蔽膜（漏磁 ​​＜0.1%​）
◉ ​量子精密测量​
▸ 超导量子比特磁噪声屏蔽层（退相干时间 ​**＞200μs**）
▸ 原子磁力仪抗电磁干扰膜（背景噪声 ​​＜5fT/√Hz）

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