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产品中心
PRODUCTS
镍铬合金塞子（Ni-Cr）
| 镍铬合金塞子（Ni-Cr）基本信息 | |
| 分子式 | Ni20Cr80wt% |
| 纯度 | 99.9% |
| CAS号 | 11106-97-1 |
| 摩尔质量 | 110.69 g/mol |
| 密度 | 8.4 g/cm³ |
| 熔点 | 约 1400 ℃ |
| 沸点 | 无固定单一沸点，高温先挥发分解 |
| 溶解性（水） | 不溶于水；可被稀硝酸、浓盐酸等强酸腐蚀 |
镍铬合金塞子（Ni-Cr）产品概况
镍铬塞子靶是小型柱状 / 短圆柱塞式镍铬合金溅射靶，采用真空熔炼 + 锻造 / 粉末冶金制备，精加工成塞头结构，可直接装入小型溅射源，无需大型背板，多用于多靶共溅射设备、科研镀膜机。
材质：Ni-Cr 固溶合金，最常用 Ni80Cr20；薄膜电阻专用牌号控制杂质（Fe、Si、C、O），保证低 TCR（电阻温度系数）；
结构：圆柱形塞子，端面为溅射面，可带螺纹 / 台阶定位结构；
靶材优势：溅射工艺稳定，沉积的 NiCr 薄膜附着力好，耐氧化、耐腐蚀，薄膜电阻温度系数低；
储存：干燥密封保存，避免长期潮湿环境氧化。
备注：塞子靶只是外形结构分类，材料本质就是镍铬合金靶，区别于大圆片靶、旋转管靶。
| 镍铬合金塞子（Ni-Cr）产品应用 |
薄膜应用：
1. 精密薄膜电阻（最核心）：混合集成电路、薄膜电阻网络、芯片内置电阻、应变计敏感膜，NiCr 薄膜 TCR 低，温漂小；
2. MEMS 与传感器：微加热器、压力应变薄膜、微流控芯片加热层；
3. 半导体与微电子：晶圆上阻性薄膜、抗腐蚀保护层；
4. 光学 / 装饰涂层：耐蚀耐磨金属保护膜；
5. 科研实验：实验室磁控溅射、多靶共溅射，制备多层膜、梯度成分薄膜。
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