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产品中心
PRODUCTS
镍钽合金靶材（NiTa）
| 镍钽合金靶材（NiTa）基本信息 | |
| 分子式 | Ni-Ta |
| 纯度 | 99.95% |
| CAS号 | 无单独 CAS 编号 |
| 摩尔质量 | 随配比变化 |
| 密度 | 11.2~12.8 g/cm³ |
| 熔点 | 1450~1700 ℃ |
| 沸点 | 无统一沸点 |
| 溶解性（水） | 不溶于水；常温耐大部分弱酸，耐蚀性优异；可被氢氟酸、热浓酸腐蚀；在熔融碱、强腐蚀熔盐中会缓慢侵蚀。 |
镍钽合金靶材（NiTa）产品概况
镍钽靶材由高纯镍、高纯钽原料制备，制备工艺分为真空熔炼锻造或粉末冶金两种路线，可加工成圆片、方板、棒材、塞子靶，可钎焊绑定无氧铜背板。
材料特点：兼具 Ni 的塑性与 Ta 的高耐蚀、耐高温、扩散阻挡能力；薄膜致密，抗高温氧化、抗金属离子扩散能力强；
核心质控点：成分均匀性、低氧、高密度、细晶组织，减少溅射打火与颗粒污染；
储存：真空密封干燥存放，防止表面氧化。
说明：镍钽靶是配比定制化靶材，客户可指定原子比或质量比，不同配比薄膜性能差异很大。
| 镍钽合金靶材（NiTa）产品应用 |
薄膜应用：
1. 半导体集成电路：铜互连体系扩散阻挡层，阻挡 Cu 向介质层扩散；功率器件、存储器件的阻挡薄膜
2. 高温耐蚀防护涂层：航空航天、燃气涡轮零部件耐高温抗氧化薄膜，抗熔融金属腐蚀保护层
3. MEMS 与传感器：高温工况微器件的耐蚀导电薄膜、应变薄膜
4. 核能领域：熔盐堆、钠冷快堆的抗液态金属腐蚀防护薄膜（科研方向）
5. 科研镀膜：磁控溅射、共溅射实验，制备耐蚀多层膜、扩散阻挡体系、难熔合金薄膜
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