钼钛合金靶材（MoTi）Product overview

      钼钛合金靶材（MoTi，钼含量1%-30at%）是以高纯钛、钼为原料，通过真空熔炼与热等静压工艺制备的致密金属靶材，纯度≥99.95%，密度≥5.5 g/cm³。其兼具钛的轻量化、生物相容性及钼的高强度、耐腐蚀特性，可调控相组成（α/β相）与晶粒尺寸，适配磁控溅射、电弧离子镀等工艺，用于沉积耐蚀涂层、高温防护膜及医疗植入体表面功能层。产品具备低氧含量（＜500 ppm）、高膜层结合力及优异导电性，支持成分梯度设计、异形尺寸定制（直径≤500mm），广泛应用于航空航天、海洋工程、生物医疗及半导体封装领域，满足严苛工况下的性能需求。

广泛应用于航空航天、海洋工程、生物医疗及半导体封装领域，满足严苛工况下的性能需求。
‌1.半导体与显示技术‌
作为TFT-LCD铜导电膜的底层/覆盖层阻挡材料，抑制铜扩散并提升导电膜稳定性，适配5nm以下先进制程芯片需求。
在3D NAND存储芯片中，钼钛合金薄膜的热膨胀系数与硅基板匹配，使128层堆叠结构的良品率提升至92%以上。
‌2.功能薄膜制备‌
用于磁控溅射工艺沉积耐腐蚀涂层（如海洋工程设备）、高温防护膜（航空航天热端部件）及生物医疗植入体表面功能层。
‌3.新能源与电子器件‌
作为电极材料应用于太阳能电池，通过低电阻率薄膜提升光电转换效率（部分案例达23%）