科泰新材料可提供“元索周期表”近乎全元素(除放射性元素外)的任意组合材料定制,
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| 钨钛合金靶材绑背板带磁性吸片 (W-Ti)基本信息 | |
| 分子式 | W-Ti(主流配比 W90Ti10 wt%) |
| 纯度 | 99.99% |
| CAS号 | 58397-70-9 |
| 摩尔质量 | 229.94 g/mol |
| 密度 | 14.4 g/cm³ |
| 熔点 | 2980~3100 ℃ |
| 沸点 | 无固定沸点 |
| 溶解性(水) | 不溶于水、稀酸稀碱;可被氢氟酸、硝酸、王水腐蚀 |
钨钛合金靶材,银灰色金属光泽,粉末冶金 / 热等静压制备,是钨钛固溶合金;兼顾钨高熔点、抗扩散能力与钛的粘附性;可加工圆靶、方靶、台阶靶、旋转管靶,可铟焊绑定铜背板;氧含量指标严格,氧高会大幅降低阻挡性能;配比是核心,W90Ti10 是半导体最通用牌号,W70Ti30 钛含量更高、粘附性更好。
| 钨钛合金靶材绑背板带磁性吸片 (W-Ti)产品应用 |
薄膜应用:
1. 集成电路芯片:铜 / 铝金属化工艺扩散阻挡层(核心用途,阻挡 Cu 向硅扩散)、接触粘附层Plansee
2. CIGS 薄膜太阳能电池:钢基底阻挡层,阻隔基底铁杂质扩散进入吸收层,保障电池效率Plansee
3. MEMS、传感器、射频器件电极薄膜
4. 耐磨防护涂层、硬质功能薄膜
5. 微电子、光电器件、金属化互连薄膜