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钨钛合金靶材绑背板带磁性吸片 (W-Ti)

钨钛合金靶材绑背板带磁性吸片 (W-Ti)
  • 钨钛合金靶材绑背板带磁性吸片 (W-Ti)
钨钛合金靶材绑背板带磁性吸片 (W-Ti)基本信息
分子式W-Ti(主流配比 W90Ti10 wt%)
纯度99.99%
CAS号58397-70-9
摩尔质量229.94 g/mol
密度14.4 g/cm³
熔点2980~3100 ℃
沸点无固定沸点
溶解性(水)不溶于水、稀酸稀碱;可被氢氟酸、硝酸、王水腐蚀

钨钛合金靶材绑背板带磁性吸片 (W-Ti)产品概况

      钨钛合金靶材,银灰色金属光泽,粉末冶金 / 热等静压制备,是钨钛固溶合金;兼顾钨高熔点、抗扩散能力与钛的粘附性;可加工圆靶、方靶、台阶靶、旋转管靶,可铟焊绑定铜背板;氧含量指标严格,氧高会大幅降低阻挡性能;配比是核心,W90Ti10 是半导体最通用牌号,W70Ti30 钛含量更高、粘附性更好。


钨钛合金靶材绑背板带磁性吸片 (W-Ti)产品应用

薄膜应用:
1. 集成电路芯片:铜 / 铝金属化工艺扩散阻挡层(核心用途,阻挡 Cu 向硅扩散)、接触粘附层Plansee
2. CIGS 薄膜太阳能电池:钢基底阻挡层,阻隔基底铁杂质扩散进入吸收层,保障电池效率Plansee
3. MEMS、传感器、射频器件电极薄膜
4. 耐磨防护涂层、硬质功能薄膜
5. 微电子、光电器件、金属化互连薄膜

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