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产品中心
PRODUCTS
氮化钼靶材（MoN）
| 氮化钼靶材（MoN）基本信息 | |
| 分子式 | MoN |
| 纯度 | 99.5% |
| CAS号 | 12033-19-1 |
| 摩尔质量 | 109.95 g/mol |
| 密度 | 9.20 g/cm³ |
| 熔点 | 1750 ℃ |
| 沸点 | 无常压沸点，高温优先分解，不气化 |
| 溶解性（水） | 不溶于水、稀酸；可被王水、浓硝酸、浓硫酸缓慢腐蚀；强碱共熔会分解释放氨气 |
氮化钼靶材（MoN）产品概况
氮化钼（MoN）是六方晶系过渡金属氮化物，深灰色硬质固体，兼具金属导电性 + 陶瓷高硬度、耐蚀、热稳定特性。 氮化钼溅射靶材采用粉末冶金、热压、SPS 热等离子烧结工艺制备，可加工圆盘靶、矩形板靶、旋转管靶，可绑定铜背板。 材料特点：电阻率低、功函数高、热稳定性优良；薄膜具有高硬度、耐磨抗腐蚀；低温稳定，高温空气环境下会逐步氧化生成钼氧化物。
| 氮化钼靶材（MoN）产品应用 |
薄膜应用：
1. 半导体集成电路（核心应用）：DRAM、3D NAND、先进逻辑器件 GAA 晶体管，用作金属栅极、扩散阻挡层、接触阻挡层，抑制金属与硅基底互扩散，调控功函数，降低漏电流。
2. 储能器件：超级电容器、锂离子电池薄膜电极材料，具备优良电化学储能特性。
3. 硬质耐磨防护涂层：刀具、模具 PVD 耐磨耐腐蚀薄膜，提升表面硬度与抗磨损能力。
4. 催化薄膜：加氢脱硫、加氢催化薄膜，具有类贵金属催化特性。
5. MEMS 与传感器：微机电系统电极、高温薄膜传感器导电层。
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