English
元素索引

点击可查看包含对应元素的相关产品信息

科泰新材料可提供“元索周期表”近乎全元素(除放射性元素外)的任意组合材料定制，
部分产品未及时更新，特殊定制需求请咨询客服。

English
元素索引
关闭索引
首页
关于科泰
企业简介
发展历程
客户展示
生产设备
荣誉资质
产品中心
溅射靶材
蒸发镀膜材料
化合物半导体材料
稀土材料
特种合金
坩埚定制
应用领域
5G领域
光学领域
半导体芯片
电子器件
航空航天
平面显示器
太阳能电池
工具改性
OLED领域
存储领域
技术支持
分析检测
技术服务
技术咨询
新闻资讯
公司新闻
行业资讯
公司活动
靶材科普
联系我们
联系方式
在线留言
在线地图

产品中心

PRODUCTS

当前位置：首页 >> 产品中心 >> 溅射靶材 >> 氮化物靶材

选择产品类别：

氮化物靶材 取消选择
全部产品
溅射靶材
蒸发镀膜材料
化合物半导体材料
稀土材料
特种合金
坩埚定制
产品类别
溅射靶材
蒸发镀膜材料
化合物半导体材料
稀土材料
特种合金
坩埚定制

氮化铝钪靶材（AlScN）

氮化铝钪靶材（AlScN）
  • 氮化铝钪靶材（AlScN）
氮化铝钪靶材（AlScN）基本信息
分子式AlScN
纯度99.5%
CAS号
摩尔质量
密度
熔点
沸点
溶解性（水）

氮化铝钪靶材（AlScN）产品概况

        氮化钪铝靶材采用航空级铝（≥99.999%）与核纯级钪（≥99.99%）为原料，通过 等离子旋转电极雾化+热等静压（HIP） 工艺制备的压电增强型溅射靶材。核心特性包括：

•精确掺杂控制（Sc 10-45at.% 连续可调）

•亚微米柱状晶结构（晶粒尺寸 0.3-1.2μm）

•超高密度＞99.5%（孔隙率＜0.05%）

•超低金属杂质（Fe＜5ppm，Cr＜2ppm）
•在射频磁控溅射中实现 压电系数d₃₃＞25pm/V，

核心价值源于钪掺杂的压电相变效应

➊ 卓越压电性能

·压电常数 d;;=15-28pm/(Sc含量调控，较纯AIN提升500%)

·介电损耗 tan8<0.003(x波段品质因数Q>1500)

➋ 低应力高稳定性

·膜内应力 <200MPa(突破AIN薄膜开裂瓶颈)

·退火稳定性 **>650°C**(兼容CMOS后道工艺

➌ 多重功能协同

·铁电/压电双模式切换(Sc>25at.%时自发极化)

·声表面波速率 **>5600m/s**(高频滤波器关键指标)



氮化铝钪靶材（AlScN）产品应用

主导应用覆盖5G通信与先进传感器​
◉ ​​高频射频滤波器​
▸ 5G n79频段BAW滤波器（频带 ​3.3-4.9GHz，带宽提升 ​300%​）
▸ 毫米波AiP天线耦合层（插入损耗 ​​＜1.2dB）
◉ ​智能传感系统​
▸ MEMS超声换能器发射层（分辨率 ​​＜50μm，医疗影像用）
▸ 高精度PMUT阵列（检测极限 ​10MPa）
◉ ​存储与逻辑器件​
▸ 铁电存储器（FeRAM）栅极层（剩磁极化 ​**＞15μC/cm²**）
▸ 负电容晶体管沟道层（亚阈值摆幅 ​​＜60mV/dec）
◉ ​量子技术载体​
▸ 声子量子比特芯片压电层（相干时间 ​**＞200μs**）
▸ 氮空位色心应力调控膜（光谱稳定性 ​​＜0.05nm）

产品推荐

产品需求

PRODUCT DEMAND

产品名称：

产品纯度：

产品尺寸：

您的昵称：

您的电话：

您的邮箱：

工作单位：

其他说明：



返回顶部
ENGLISH
关于科泰
企业简介
发展历程
客户展示
生产设备
荣誉资质
产品中心
溅射靶材
蒸发镀膜材料
化合物半导体材料
稀土材料
特种合金
应用领域
5G领域
光学领域
半导体芯片
电子器件
航空航天
技术支持
分析检测
技术服务
技术咨询
新闻资讯
公司新闻
行业资讯
公司活动
靶材科普
联系我们
联系方式
在线留言
在线地图
江西科泰B站主页（产品视频展示） 阿里巴巴店铺直达 爱采购店铺直达

  • 微信扫一扫实时报价

  • 微信公众号

  • 关注微信视频号

  • 抖音扫码，加我好友

江西科泰新材料有限公司 @版权所有

工厂电话 : 0795-5381117

E-mail : sales@mat-kt.com

咨询热线：18979517112

工厂地址 : 江西省高安市工业园通城大道

赣ICP13002482-1

技术支持：Cnnaw纳网技术