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氧化锌掺氟化镁靶材（ZnO-MgF2）

氧化锌掺氟化镁靶材（ZnO-MgF2）
  • 氧化锌掺氟化镁靶材（ZnO-MgF2）
氧化锌掺氟化镁靶材（ZnO-MgF2）基本信息
分子式ZnO-MgF2
纯度99.99%
CAS号
摩尔质量
密度
熔点
沸点
溶解性（水）

氧化锌掺氟化镁靶材（ZnO-MgF2）产品概况

        氧化锌掺氟化镁靶材是以高纯氧化锌（ZnO，纯度≥99.99%）与氟化镁（MgF₂，纯度≥99.95%）为原料，通过高能机械合金化与放电等离子烧结（SPS）技术制备的多功能复合靶材，化学组分可调（ZnO:MgF₂=90:10至70:30 wt%），晶相为纤锌矿ZnO与立方MgF₂两相共存（XRD验证），密度≥5.2 g/cm³（相对密度＞97%）。其兼具宽禁带半导体特性（禁带宽度3.3-5.0 eV可调）、低折射率（1.38-1.70 @550 nm）及高抗激光损伤阈值（＞10 J/cm² @1064 nm），适配磁控溅射、脉冲激光沉积（PLD）及电子束蒸发工艺，广泛应用于透明导电薄膜、紫外光学镀膜、压电器件及抗反射涂层领域。通过界面缺陷钝化（Mg²⁺填充Zn空位）、晶粒尺寸控制（50-500 nm）及双相分布优化，实现电学、光学与机械性能的协同提升，满足新型光电子器件与极端环境防护涂层的严苛需求。
氧化锌掺氟化镁靶材（ZnO-MgF2）产品应用

氧化锌薄膜是常见的透明导电膜，掺氟化镁减反射薄膜可有效降低光学元件表面的反射光，从而一方面增加像的亮度、清晰度，另一方面增加透光率，降低光能量的损失。
​透明电子器件​：柔性触控面板导电层（方阻＜100 Ω/sq，弯折半径＜3 mm）。钙钛矿太阳能电池电子传输层（能级匹配，提升开路电压）。
​光学镀膜​：紫外LED封装增透膜（UVA/B波段透射率＞90%）。激光武器系统抗损伤涂层（耐受10⁶ W/cm²连续激光）。
​传感器与执行器​：压电式MEMS传感器（d₃₃＞5 pC/N，温漂＜0.1%/℃）。声表面波（SAW）器件频率调谐层（温度稳定性提升30%）。
​防护涂层​：海洋环境耐腐蚀涂层（盐雾试验＞1000 h无失效）。航天器抗原子氧侵蚀表面处理（侵蚀率降低＞50%）。

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