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氟化亚锡掺氧化锡靶材(FTO)

氟化亚锡掺氧化锡靶材(FTO)
  • 氟化亚锡掺氧化锡靶材(FTO)
氟化亚锡掺氧化锡靶材(FTO)基本信息
分子式SnO₂‑SnF₂
纯度99.9%
CAS号无单独CAS号
摩尔质量无单独摩尔质量
密度约6.90 g/cm³
熔点无单一熔点
沸点无单一熔点
溶解性(水)遇水、潮湿环境下表面 SnF₂会水解,靶材需要干燥密封保存;可溶于热浓强酸。

氟化亚锡掺氧化锡靶材(FTO)产品概况

氟化亚锡掺杂氧化锡溅射靶材(SnO₂‑SnF₂),属于定制型 TCO 陶瓷靶材。以高纯二氧化锡粉体为主基体,掺入氟化亚锡粉体作为氟掺杂源,粉体均匀混合后,采用气氛保护烧结 / 热压 / HIP 致密化制备。 SnF₂在高温烧结过程部分分解,F 原子固溶进入 SnO₂金红石晶格,替换晶格氧,提供自由载流子,获得导电性能;未固溶的少量 SnF₂作为第二相存在。 靶材具备导电性,可采用DC 直流磁控溅射,也可 RF 溅射;可加工圆靶、方靶,可绑定铜背板。

氟化亚锡掺氧化锡靶材(FTO)产品应用

薄膜应用:
1. 钙钛矿太阳能电池、染料敏化太阳能电池 DSSC:透明导电电极(FTO 薄膜核心场景)
2. 电致变色器件、智能低辐射 Low-E 玻璃:透明导电层
3. 电化学电极、电解、光电催化基底薄膜,薄膜耐酸碱腐蚀,优于 ITO
4. 红外反射涂层、光电传感器
5. 科研薄膜开发,TCO 材料机理、镀膜工艺研究

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