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产品中心
PRODUCTS
氧化钇靶材（Y2O3）
| 氧化钇靶材（Y2O3）基本信息 | |
| 分子式 | Y2O3 |
| 纯度 | 99.99% |
| CAS号 | 225.81 g/mol |
| 摩尔质量 | 225.81 |
| 密度 | 5.01 g/cm³ |
| 熔点 | 2430 ℃ |
| 沸点 | 4300 °C |
| 溶解性（水） | 不溶于水、碱液；可溶于稀强酸（磷酸、氢氟酸除外），空气中会缓慢吸潮、吸收二氧化碳 |
氧化钇靶材（Y2O3）产品概况
氧化钇靶材为白色致密稀土陶瓷靶，立方晶系，热稳定性优异、耐等离子体腐蚀、介电性能好、红外透光性佳；可做成圆靶、方靶、台阶靶，支持背铜绑定；高纯高密度 Y₂O₃靶常用于磁控溅射制备介质层、保护层、种子层薄膜；轻微吸潮，靶材需要干燥密封存放。
| 氧化钇靶材（Y2O3）产品应用 |
薄膜应用：
1. 半导体、光刻、等离子设备：耐等离子腐蚀涂层、腔体防护薄膜
2. 光学薄膜：红外光学窗口、激光介质膜、增透膜、抗反射膜
3. 热障涂层、耐高温防护薄膜
4. 固态电解质、储能器件、钙钛矿电池阻挡层
5. 荧光、发光薄膜、稀土掺杂功能薄膜
6. 超导、铁电薄膜外延缓冲层
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