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氧化铒靶材(Er2O3)

氧化铒靶材(Er2O3)
  • 氧化铒靶材(Er2O3)
氧化铒靶材(Er2O3)基本信息
分子式Er2O3
纯度99.9%
CAS号12061-16-4
摩尔质量382.56
密度8.64 g/cm3
熔点2344 °C
沸点3290 °C
溶解性(水)

氧化铒靶材(Er2O3)产品概况

        氧化铒靶材是一种以三氧化二铒 (Er₂O₃) 为核心成分的高技术陶瓷溅射靶材。采用高纯度(通常≥99.9%)氧化铒原料,通过先进的粉末冶金或热等静压(HIP)烧结工艺制备而成,具备高密度、优异的微观结构均匀性和化学稳定性,确保在物理气相沉积(PVD,主要是磁控溅射)过程中实现稳定、高效和均匀的薄膜沉积。

该靶材的核心价值源于稀土元素铒(Er³⁺)独特的光学特性。利用溅射技术在基底上沉积得到的 氧化铒薄膜,因其内部的 Er³⁺离子 具有特殊的能级结构,在受到特定波长(通常为约980nm或1480nm)的光泵浦激发后,能在关键的 1550nm 通信波段 产生高效的受激发射(光放大效应)。这一特性是其最重要的应用基础。

因此,氧化铒薄膜是实现高性能 光放大功能 的不可或缺材料。其主要应用集中在:

  • 掺铒光纤放大器:构成 EDFA 的核心增益介质层,是现代长距离光纤通信网络信号中继和放大的基石。

  • 集成光波导放大器/激光器:在硅基光电子、铌酸锂光电子等集成光子芯片中,作为实现片上光放大与激光发射的有源功能层。

  • 特种光学薄膜与传感器:利用其在特定波长的光敏或荧光特性,用于制备高灵敏传感器或特殊光学涂层。


氧化铒靶材(Er2O3)产品应用

◉ 光通信与激光器件​
​应用器件​:硅基光子集成芯片(PIC)、EDFA光纤放大器。
​功能需求​:
1550nm波段增益系数>2 dB/cm;
与SiO₂波导的折射率差Δn≥0.4。
​靶材优势​:
高纯度Er³⁺离子提供¹⁴I₁₃/₂→¹⁴I₁₅/₂能级跃迁;
精确化学计量比抑制荧光淬灭缺陷。
◉ 核工业防护​
​应用场景​:核反应堆控制棒中子吸收层、乏燃料容器涂层。
​功能需求​:
热中子吸收率>99.9%(100μm膜厚);
抗辐照肿胀(>10²¹ n/cm²通量)。
​靶材优势​:
Er天然丰度100%,同位素无分离需求;
高温相稳定性(>1200℃无相变)。
◉ 特种传感器​
​应用器件​:抗辐射温度传感器、中子通量探测器。
​功能需求​:薄膜电阻温度系数(TCR)>0.5%/K。
​靶材优势​:溅射膜中Er³⁺能级对温度敏感(Stark分裂)。

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