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氧化铈靶材（CeO2）

氧化铈靶材（CeO2）
  • 氧化铈靶材（CeO2）
氧化铈靶材（CeO2）基本信息
分子式CeO2
纯度99.99%
CAS号1306-38-3
摩尔质量172.115 g/mol
密度7.13 g/cm³
熔点1950℃
沸点3500℃
溶解性（水）不溶于水、乙醇；难溶于稀酸，在强酸性 + 还原剂条件下可缓慢溶解

氧化铈靶材（CeO2）产品概况

氧化铈靶材（二氧化铈 CeO₂），萤石型立方晶体结构，外观为浅黄白色、淡黄色陶瓷；主流制备工艺：常压烧结、热压、HIP 热等静压，可制成圆靶、方靶、环靶，可绑定铜背靶。具备独特储氧释氧特性、高折射率、化学稳定性好、耐高温、介电性能优良；属于绝缘氧化物靶，一般采用 RF 射频溅射。Ce 存在可变价态，薄膜易形成氧空位，是非常典型的稀土功能氧化物靶材。

氧化铈靶材（CeO2）产品应用

薄膜应用：
1. 固态氧化物燃料电池 SOFC：电解质、阻挡层、复合电极功能薄膜；
2. 催化薄膜、气体传感器：氧传感器、汽车尾气传感、催化涂层，利用 CeO₂储氧特性；
3. 光学镀膜：高折射率光学膜、增透膜、保护膜，红外、激光光学元件涂层；
4. 半导体、MEMS：钝化层、高介电介质层、阻挡扩散层；
5. 防腐耐高温涂层：高温合金防护涂层；
6. 科研实验：光催化薄膜、异质结器件、稀土功能薄膜研发。

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