科泰新材料可提供“元索周期表”近乎全元素(除放射性元素外)的任意组合材料定制,
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| 氧化铝靶材(Al2O3)基本信息 | |
| 分子式 | Al2O3 |
| 纯度 | 99.99% |
| CAS号 | 1344-28-1 |
| 摩尔质量 | 101.96 |
| 密度 | 3.5 g/cm³ |
| 熔点 | 2054ºC |
| 沸点 | 2980 ℃ |
| 溶解性(水) | 不溶于水,易溶于强碱和强酸 |
氧化铝靶材(Al₂O₃)是以高纯铝粉为原料,经氧化、成型及高温烧结工艺制备的陶瓷材料。
难溶于水的白色固体,无臭、无味、质极硬,易吸潮而不潮解(灼烧过的不吸湿)。
氧化铝是典型的两性氧化物(刚玉是α形属于六方最密堆积,是惰性化合物,微溶于酸碱耐腐蚀 ),能溶于无机酸和碱性溶液中,几乎不溶于水及非极性有机溶剂;
| 氧化铝靶材(Al2O3)产品应用 |
半导体器件、光学器件及航空航天高温部件的表面功能化需求,是精密电子、光学工程与极端环境防护领域的核心镀膜材料。
◉ ASML光刻机镜头
193nm增透膜系
基底:合成石英|沉积温度:150℃
性能验证:
- 单面反射损失<0.08%
- 波前畸变<λ/40 @193nm
工艺方案:离子束辅助沉积(IAD)优化致密度
◉ 车规级IGBT模块
铜引线键合区钝化层
耐湿HTRB测试:150℃/85%RH/1000h无失效
创新结构:Al₂O₃/SiNₓ叠层(界面陷阱密度<10¹⁰ cm⁻²)
量产案例:英飞凌HybridPACK™良率提升6.5%
◉ 航空发动机热障
涡轮叶片粘结层
TGO生长抑制:1300℃/100h氧化增重<0.5mg/cm²
协同机制:Al₂O₃纳米层阻断氧扩散(MCrAlY涂层寿命↑50%)
◉ 柔性OLED封装
水氧阻隔膜
WVTR<5×10⁻⁷ g/m²/day(85℃/85%RH)
弯折寿命>20万次@R=2mm