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二氧化钼(MoO₂)靶材

二氧化钼(MoO₂)靶材
  • 二氧化钼(MoO₂)靶材
二氧化钼(MoO₂)靶材基本信息
分子式MoO₂
纯度99.9%
CAS号18868-43-4
摩尔质量127.94 g/mol
密度6.47 g/cm³
熔点1100 ℃(分解,无真正熔化)
沸点无固定沸点
溶解性(水)不溶于水、稀盐酸、碱液;微溶于热浓硫酸、浓硝酸

二氧化钼(MoO₂)靶材产品概况

        二氧化钼靶材为紫黑色 / 棕黑色致密陶瓷靶,单斜晶系、畸变金红石结构;Mo⁴⁺,具有类金属导电特性,电阻率低;多采用热压、SPS 烧结制备,可加工圆靶、方靶、台阶靶,支持背铜绑定;在含氧气氛 400℃以上容易氧化变成 MoO₃,溅射需控制氧分压;薄膜导电性好、电化学活性高,多用于储能、催化、阻变器件。

二氧化钼(MoO₂)靶材产品应用

薄膜应用:
1. 锂电池、钠离子电池、超级电容器:导电电极薄膜
2. 电催化薄膜、析氢催化、光电催化功能层
3. RRAM 阻变存储器、神经形态器件、相变薄膜
4. 场发射器件、传感器导电薄膜
5. 耐磨导电涂层、微电子低阻互连薄膜
6. 科研镀膜、钼基多层功能薄膜体系60%​)

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