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铌镁酸铅掺钛酸铅靶材(Pb₁.₁Mg₁₃Nb₂₃O₃-Pb₁.₁TiO₃ )

铌镁酸铅掺钛酸铅靶材(Pb₁.₁Mg₁₃Nb₂₃O₃-Pb₁.₁TiO₃ )
  • 铌镁酸铅掺钛酸铅靶材(Pb₁.₁Mg₁₃Nb₂₃O₃-Pb₁.₁TiO₃ )
铌镁酸铅掺钛酸铅靶材(Pb₁.₁Mg₁₃Nb₂₃O₃-Pb₁.₁TiO₃ )基本信息
分子式Pb₁.₁Mg₁₃Nb₂₃O₃-Pb₁.₁TiO₃
纯度99.9%
CAS号无单独CAS号
摩尔质量310 ~ 330 g/mol
密度8.0 ~ 8.2 g/cm³
熔点1264 ~ 1320 ℃
沸点无固定沸点
溶解性（水）不溶于水；可被浓盐酸、氢氟酸、热浓硝酸缓慢腐蚀

铌镁酸铅掺钛酸铅靶材(Pb₁.₁Mg₁₃Nb₂₃O₃-Pb₁.₁TiO₃ )产品概况

铌镁酸铅 - 钛酸铅陶瓷靶材，采用固相烧结工艺制备，属于多组分钙钛矿氧化物陶瓷靶。

  • 制备工艺：高纯氧化物原料配料、球磨、预烧、等静压成型、高温烧结、精密研磨、绑定无氧铜背板；

  • 材料特点：弛豫铁电材料，压电系数、机电耦合系数远高于传统 PZT；高温溅射过程中铅极易挥发，镀膜时需要控制氧分压，补偿铅损耗，防止薄膜失铅产生杂相；

  • 质控重点：钙钛矿相纯度、致密度、成分均匀度、低孔隙，减少溅射掉粉、打火；PT 掺杂比例（x 值）直接决定薄膜压电 / 介电性能；

  • 形态：圆形、方形平面靶；可按需定制尺寸；

  • 储存：常温干燥密封保存；避免磕碰碎裂；含铅，废料、粉尘按危化品管理。

注意：PMN-PT 靶是陶瓷脆性靶，和金属靶不同，不能承受大的机械冲击；射频溅射为主，不适合直流溅射。


铌镁酸铅掺钛酸铅靶材(Pb₁.₁Mg₁₃Nb₂₃O₃-Pb₁.₁TiO₃ )产品应用

薄膜应用：
1. MEMS 压电微器件：MEMS 压电微驱动器、微泵、微阀、压电微悬臂、微型超声换能器；
2. 医用超声薄膜器件：超声探头薄膜压电层，高频超声成像阵列（核心优势：高压电系数、宽带）；
3. 红外热释电探测器：热释电传感薄膜，红外探测、热成像传感器；
4. 声呐与无损检测：超声探伤、水下声呐薄膜换能元件；
5. 铁电存储、微机电传感：铁电薄膜、高介电薄膜、压电传感器；
6. 科研镀膜：磁控溅射制备弛豫铁电薄膜、钙钛矿薄膜，压电 / 铁电基础研究。

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