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产品中心
PRODUCTS
氧化锡掺钯靶材（SnO2-Pd）
| 氧化锡掺钯靶材（SnO2-Pd）基本信息 | |
| 分子式 | SnO2-Pd |
| 纯度 | 99.95% |
| CAS号 | 无独立 CAS 号 |
| 摩尔质量 | 随掺杂比例变化 |
| 密度 | 6.2~6.8 g/cm³ |
| 熔点 | 无单一熔点 |
| 沸点 | 无固定沸点 |
| 溶解性（水） | 不溶于水、乙醇、稀酸；可溶于浓强碱；可被浓热强酸缓慢腐蚀；Pd 组分可被王水溶解 |
氧化锡掺钯靶材（SnO2-Pd）产品概况
氧化锡掺钯靶材是磁控溅射用陶瓷靶材，采用 SnO₂粉体与钯源（PdO 或金属 Pd 粉）混粉、成型、高温烧结制备，可做成圆靶、方靶，可绑定铜背板。 属于宽禁带半导体氧化物靶材，Pd 作为贵金属催化掺杂剂，作用是降低薄膜气敏工作温度、提升响应速度、提高气体选择性；靶材脆性大，一般采用射频 RF 溅射。溅射沉积后得到 Pd 掺杂 SnO₂气敏薄膜，是薄膜型气体传感器的核心敏感层原料。
| 氧化锡掺钯靶材（SnO2-Pd）产品应用 |
薄膜应用：
1. 薄膜气体传感器（最主要用途）：检测 CO、H₂、甲烷、甲苯、乙烯等；用于工业可燃气体报警器、煤矿瓦斯监测、室内空气监测、果蔬保鲜乙烯检测、氢气检漏传感器。Pd 掺杂显著提升灵敏度、缩短响应恢复时间，降低传感器工作温度。
2. 半导体微纳传感器：MEMS 微型气敏芯片，微型集成气体传感器阵列。
3. 催化薄膜：微结构催化涂层，用于气体催化反应、气体分离器件。
4. 科研实验：实验室 PVD 镀膜，气敏薄膜、半导体氧化物薄膜机理研究。
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