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产品中心
PRODUCTS
镍酸镧靶材(LaNiO3)
| 镍酸镧靶材(LaNiO3)基本信息 | |
| 分子式 | LaNiO3 |
| 纯度 | 99.9% |
| CAS号 | 12031-41-3 |
| 摩尔质量 | 245.60 g/mol |
| 密度 | 6.93~7.11 g/cm³ |
| 熔点 | 无单一熔点 |
| 沸点 | 无固定沸点 |
| 溶解性（水） | 不溶于水；可溶于浓酸，在稀酸中缓慢腐蚀 |
镍酸镧靶材(LaNiO3)产品概况
镍酸镧（LaNiO₃）靶材为钙钛矿型导电复合氧化物陶瓷靶材，采用固相烧结工艺制备，属于 PVD 磁控溅射靶材，可加工成圆靶、方靶、管状靶，可绑定铜背靶（铟焊绑定为主）。 LaNiO₃薄膜具有金属导电性、低电阻率、良好高温稳定性、晶格匹配性好，是经典的导电钙钛矿底电极材料；陶瓷脆性大、导热差，溅射时需要控制功率，防止热震开裂。靶材要求组分均匀、致密度高、无孔洞、无偏析，用于稳定制备高质量外延薄膜。
| 镍酸镧靶材(LaNiO3)产品应用 |
薄膜应用：
1. 铁电存储器 FRAM / 压电薄膜器件：最主流用途，作为铁电薄膜（PZT 等）的底电*，晶格匹配好，可防止电极与铁电层互扩散，提升器件疲劳特性。
2. 半导体、MEMS、压电传感器、红外探测器：导电功能薄膜电极。
3. 固体氧化物燃料电池 SOFC、超级电容器：电极 / 功能层薄膜沉积。
4. 光电、光催化、气体传感器：导电催化薄膜、氧传感器电极层。
5. 科研外延薄膜、自旋电子、氧化物电子学基础研究。
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