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四氧化三铁靶材(Fe3O4)

四氧化三铁靶材(Fe3O4)
  • 四氧化三铁靶材(Fe3O4)
四氧化三铁靶材(Fe3O4)基本信息
分子式Fe3O4
纯度99.9%
CAS号1317-61-9
摩尔质量231.53 g/mol
密度5.18 g/cm³
熔点1597 ℃
沸点2623 ℃
溶解性(水)不溶于水、碱溶液;可溶于浓酸,生成亚铁盐与铁盐

四氧化三铁靶材(Fe3O4)产品概况

四氧化三铁靶材为反尖晶石型立方晶系氧化物陶瓷,外观呈黑色,具有半金属导电性与亚铁磁性;采用固相烧结、热压烧结或 HIP 热等静压工艺制备,可加工圆形、矩形平面靶,可铟焊绑定无氧铜背板。 Fe3O4 本身具备导电性,DC 直流溅射、RF 射频溅射均适用。靶材脆性较大,加工、转运、绑定过程需防止磕碰崩边;材料具有磁性,靶材储存、运输需要考虑磁场对周边器件的影响,高温有氧环境下薄膜易被氧化为三氧化二铁。

四氧化三铁靶材(Fe3O4)产品应用

薄膜应用:
1. 磁电子 / 自旋电子器件:自旋阀、磁隧道结、磁传感器,利用其半金属特性,是经典磁性薄膜材料。
2. 磁存储:磁记录介质、磁性多层膜。
3. 生物医疗薄膜:生物磁传感、磁性生物标记薄膜、医用磁响应涂层。
4. 催化与气敏:电催化、光电催化薄膜、气体传感器功能膜。
5. 储能器件:薄膜锂电池、微型超级电容器电极薄膜。
6. 科研镀膜:磁性多层膜、磁光薄膜等基础实验沉积。

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