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氧化铝靶材(Al2O3)

氧化铝靶材(Al2O3)
  • 氧化铝靶材(Al2O3)
氧化铝靶材(Al2O3)基本信息
分子式Al2O3
纯度99.99%
CAS号1344-28-1
摩尔质量101.96
密度3.5 g/cm³
熔点2054ºC
沸点2980 ℃
溶解性(水)不溶于水,易溶于强碱和强酸

氧化铝靶材(Al2O3)产品概况

氧化铝靶材(Al₂O₃)是以高纯铝粉为原料,经氧化、成型及高温烧结工艺制备的陶瓷材料。

难溶于水的白色固体,无臭、无味、质极硬,易吸潮而不潮解(灼烧过的不吸湿)。

氧化铝是典型的两性氧化物(刚玉是α形属于六方最密堆积,是惰性化合物,微溶于酸碱耐腐蚀 ),能溶于无机酸碱性溶液中,几乎不溶于水及非极性有机溶剂

氧化铝靶材(Al2O3)产品应用

半导体器件、光学器件及航空航天高温部件的表面功能化需求,是精密电子、光学工程与极端环境防护领域的核心镀膜材料。
​◉ ASML光刻机镜头
​193nm增透膜系​
基底:合成石英|沉积温度:150℃
性能验证:
- 单面反射损失<0.08%
- 波前畸变<λ/40 @193nm
​工艺方案​:离子束辅助沉积(IAD)优化致密度
​◉ 车规级IGBT模块
​铜引线键合区钝化层​
耐湿HTRB测试:150℃/85%RH/1000h无失效
​创新结构​:Al₂O₃/SiNₓ叠层(界面陷阱密度<10¹⁰ cm⁻²)
​量产案例​:英飞凌HybridPACK™良率提升6.5%​​
​◉ 航空发动机热障
​涡轮叶片粘结层​
TGO生长抑制:1300℃/100h氧化增重<0.5mg/cm²​
​协同机制​:Al₂O₃纳米层阻断氧扩散(MCrAlY涂层寿命↑50%)
​◉ 柔性OLED封装
​水氧阻隔膜​
WVTR<5×10⁻⁷ g/m²/day​(85℃/85%RH)
弯折寿命>20万次​@R=2mm

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