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氧化铌靶材(NbOx)

氧化铌靶材(NbOx)
  • 氧化铌靶材(NbOx)
氧化铌靶材(NbOx)基本信息
分子式NbOx(x=2.0~2.5,非固定计量比)
纯度99.99%
CAS号无独立CAS号
摩尔质量无固定摩尔质量
密度4.3~5.2 g/cm³
熔点无单一熔点
沸点无固定沸点
溶解性(水)不溶于水;耐稀酸,可溶于氢氟酸、热浓强碱、熔融硫酸盐

氧化铌靶材(NbOx)产品概况

NbOx 黑色氧化铌靶,外观为黑 / 灰黑色致密陶瓷靶,内部是 NbO₂、低氧 Nb₂O₅等多相共存,富含氧空位;通过还原烧结、SPS 热压制备,氧含量是核心定制指标,电阻率可调范围很大(半导体→弱导电);可加工圆靶、方靶、旋转管靶,支持背铜绑定;属于定制靶材,每一批 x 值不一样,镀膜性能会有差异,是低辐射玻璃、RRAM 行业热门靶材。

氧化铌靶材(NbOx)产品应用

薄膜应用:
​1. Low‑E 低辐射玻璃、建筑 / 汽车镀膜、触控屏功能薄膜(行业用量最大)
2. RRAM 阻变存储器、神经形态器件、选择器薄膜
3. 光伏薄膜、光电变色器件、电致变色薄膜
4. 光学可调折射率薄膜、多层光学干涉膜
5. 半导体、TFT、扩散阻挡层、电容器功能薄膜
6. 科研镀膜、氧空位相关功能薄膜开发

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