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氧化铌靶材(NbOx)

氧化铌靶材(NbOx)
  • 氧化铌靶材(NbOx)
氧化铌靶材(NbOx)基本信息
分子式NbOx
纯度99.99%
CAS号1313-96-8
摩尔质量265.81
密度4.47 g/mL at 25ºC(lit.)
熔点1520ºC
沸点
溶解性(水)不溶于水

氧化铌靶材(NbOx)产品概况

氧化铌靶材是以 核级铌粉(≥99.95%) 或 铌铁矿精炼产物 为原料,通过 等离子体球化、 反应溅射自绑定 或 放电等离子烧结(SPS) 制备的灰黑色陶瓷靶材(密度>5.5 g/cm³),具有 氧空位可编程性(O/Nb=1.8-2.5)、 多晶相共存(γ-Nb₂O₅/δ-NbO₂) 及 宽域电阻率(10⁻³–10⁶ Ω·cm) 特性,专用于 智能电致变色器件、 超快存储芯片 及 红外隐身涂层。通过 亚氧化相精准控制、 异质界面强化 及 梯度导电背板集成,突破高脆性(莫氏硬度6.2)与相变稳定性瓶颈。


氧化铌靶材(NbOx)产品应用

​◉ 建筑智能幕墙​
​20m²级电致变色窗​
性能参数:
- 太阳光调节率(ΔTSOL)>35%
- 驱动电压<1.5V|功耗0.2W/m²(维持态)
​节能效益​:建筑制冷能耗↓45%​​(华南实测)
​◉ 2nm逻辑芯片​
​环栅晶体管栅介质​
κ=32|EOT=0.42±0.03nm
​量产良率​:>99.5%​​(三星3GAE工艺验证)
​创新点​:氧空位梯度设计(界面态密度<10¹⁰ cm⁻²·eV⁻¹)
​◉ 全固态电池​
​锂金属负极界面层​
循环2000次膨胀率<5%​​
​离子通道设计​:沿(001)晶面Li⁺扩散路径(扩散系数>10⁻⁸ cm²/s)
​◉ AR眼镜光波导​
​动态调光镀层​
响应延迟<2ms|可见光透过率>80%​​
​弯折寿命​:>10万次@R=1mm(柔性PET基底)

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