氧化锡靶材（SnO2）Product overview

氧化锡靶材为金红石型四方晶系氧化物陶瓷溅射靶，分纯 SnO₂靶、掺杂型靶（FTO 氟掺杂、ATO 锑掺杂）；采用粉末烧结 / 热等静压 HIP 工艺制备，可做成平面靶、旋转管状靶，一般铟焊绑定无氧铜背板使用。 纯氧化锡本身为宽禁带半导体，本征电阻率偏高；通过掺杂 Sb、F 可大幅提升导电性能，是一类经典 TCO 透明导电陶瓷靶。靶材致密度高、化学稳定性好、耐酸碱、耐高温，溅射过程稳定性强，不易产生颗粒。

薄膜应用：
1. 透明导电薄膜（TCO）：FTO/ATO 靶制备透明导电膜，用于钙钛矿太阳能电池、薄膜太阳能电池、低辐射 Low-E 玻璃、触摸屏、电致变色器件。
2. 气敏传感器：SnO₂气敏薄膜，用于可燃气体、酒精、VOC 气体传感器。
3. 光学涂层：增透膜、红外反射膜、防静电透明涂层。
4. 其他：玻璃熔炼电极、半导体器件、防腐蚀涂层。