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钇铁氧(钇铁石榴石)靶材(Y3Fe5O12)

钇铁氧(钇铁石榴石)靶材(Y3Fe5O12)
  • 钇铁氧(钇铁石榴石)靶材(Y3Fe5O12)
钇铁氧(钇铁石榴石)靶材(Y3Fe5O12)基本信息
分子式Y3Fe5O12
纯度99.9%
CAS号12063-56-8
摩尔质量737.94 g/mol
密度4.7-5.1g/mol
熔点1555 ℃
沸点无固定沸点
溶解性(水)不溶于水、稀酸;可被浓热强酸、氢氟酸缓慢腐蚀;常温耐碱

钇铁氧(钇铁石榴石)靶材(Y3Fe5O12)产品概况

钇铁石榴石 YIG 靶材是磁控溅射 PVD 氧化物陶瓷靶材,采用氧化钇、氧化铁粉体固相合成、成型、高温常压 / 热压烧结制备,可加工圆靶、方靶,可绑定铜背板。 立方晶系石榴石结构,高电阻率、低微波损耗,具有优异法拉第磁光效应与旋磁特性;靶材脆性大,仅适合 RF 射频溅射;溅射过程一般控制氧分压,防止薄膜氧缺位,保证石榴石物相,常用于制备外延 YIG 薄膜。

钇铁氧(钇铁石榴石)靶材(Y3Fe5O12)产品应用

薄膜应用:
1. 微波通信器件(核心):微波隔离器、环行器、可调滤波器、YIG 调谐振荡器,雷达、卫星通信、基站射频组件。
2. 磁光器件:光隔离器、法拉第旋转器、激光调制器、光纤电流传感器,红外光学系统。
3. 自旋电子 / 磁子学器件:自旋波器件、磁子芯片、非互易微纳光子器件。
4. MEMS 磁传感器:微型磁场传感薄膜。
5. 科研实验:磁控溅射、PLD 制备 YIG 薄膜,磁光、自旋电子、微波铁氧体薄膜机理研究。

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