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氧化锌铝靶材(AZO)

氧化锌铝靶材(AZO)
  • 氧化锌铝靶材(AZO)
氧化锌铝靶材(AZO)基本信息
分子式ZnO-Al2O3
纯度99.99%
CAS号无单独 CAS 号
摩尔质量无固定摩尔质量
密度5.18 g/cm³
熔点无单一熔点
沸点无统一沸点；ZnO 高温升华，Al₂O₃沸点 2980℃
溶解性（水）不溶于水、乙醇；可溶于强酸，长时间可溶于浓强碱

氧化锌铝靶材(AZO)产品概况

该靶材为定制高铝含量氧化锌铝复合陶瓷溅射靶材，由 80wt% 氧化锌与 20wt% 氧化铝粉体球磨混合、等静压成型、高温烧结制成。 不同于市面上常规 2% Al₂O₃的透明导电 AZO，本配方氧化铝掺杂量大幅提升，烧结过程会形成一定量 ZnAl₂O₄尖晶石第二相；薄膜可见光透光性下降、电阻率升高，不再作为标准 TCO 透明导电膜使用。 材料属于 N 型半导体陶瓷；可采用磁控溅射（RF 为主，低功率脉冲 DC 可尝试）制备薄膜；可加工成圆靶、方靶、旋转靶，可绑定铜背板。

氧化锌铝靶材(AZO)产品应用

薄膜应用：
1. 功能防护涂层：耐磨、耐蚀、高硬度无机保护膜；ZnAl₂O₄尖晶石提升薄膜硬度与化学稳定性。
2. 气敏传感器薄膜：半导体气敏层，用于气体检测器件研发。
3. 介电复合薄膜、光学多层膜研发（调节折射率）。
4. 表面改性、抗等离子体侵蚀涂层。
5. 实验室基础镀膜研究，材料机理、薄膜工艺开发。

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