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钛酸钡靶材(BaTiO3)

钛酸钡靶材(BaTiO3)
  • 钛酸钡靶材(BaTiO3)
钛酸钡靶材(BaTiO3)基本信息
分子式BaTiO3
纯度99.9%
CAS号12047-27-7
摩尔质量233.19 g/mol
密度6.02–6.08 g/cm³（25°C）
熔点1625 °C
沸点无明确沸点（高温分解 / 升华，部分资料标约 1640 °C）
溶解性（水）不溶于水、稀硝酸、碱；溶于浓硫酸、浓盐酸、氢氟酸

钛酸钡靶材(BaTiO3)产品概况

核心材料特性：

  • 高介电常数：室温下 εᵣ 可达 1000–7000，居里点附近接近 10000

  • 铁电性：具有自发极化，可用于非易失存储

  • 压电性：无铅压电材料，是 PZT 的环保替代方案

  • 低介电损耗、高绝缘电阻率、高击穿场强


钛酸钡靶材(BaTiO3)产品应用

BaTiO₃ 靶材通过磁控溅射（PVD）在基底上沉积功能性薄膜，主要应用领域包括：
1. 电容器领域（最大宗应用）
多层陶瓷电容器（MLCC）：高端薄层 MLCC 的介质层沉积，手机、汽车电子、AI 服务器大量使用
薄膜电容器：高能量密度储能薄膜，可回收能量密度可达～94.7 J/cm³
DRAM 存储电容：高 κ 介质层，用于高密度动态存储器
2. 铁电存储与半导体
铁电随机存储器（FeRAM）：非易失性铁电薄膜
MOSFET 高 κ 栅介质：替代传统 SiO₂ 的候选材料
薄膜晶体管（TFT）有源层
3. 压电与 MEMS 器件
压电传感器 / 执行器：无铅、生物相容性好，适用于医疗植入器件
微机电系统（MEMS）：微泵、微镜、能量收集器
超声换能器
4. 光电子与光学薄膜
集成光子电路：外延铁电层用于电光调制
电光显示面板、光波导
非线性光学薄膜
5. 其他
PTC 热敏电阻（粉体 / 陶瓷形态为主）
新能源汽车功率电子中的高耐压电容
科研领域：应变工程铁电体、缺陷调控、硅基光子学集成研究

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