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产品中心
PRODUCTS
二氧化锰靶材（MnO2）
| 二氧化锰靶材（MnO2）基本信息 | |
| 分子式 | MnO2 |
| 纯度 | 99.9% |
| CAS号 | 1313-13-9 |
| 摩尔质量 | 86.94 g/mol |
| 密度 | 5.026 g/cm³ |
| 熔点 | 5.026 g/cm³ |
| 沸点 | 常压无沸点，高温直接分解，不存在液气相变 |
| 溶解性（水） | 不溶于水、稀硫酸、稀硝酸；可溶于热浓盐酸，与浓还原剂发生反应 |
二氧化锰靶材（MnO2）产品概况
二氧化锰靶材为金红石型四方晶系氧化物陶瓷溅射靶，外观呈黑褐色；采用固相烧结、热压烧结或 HIP 热等静压工艺制备，可加工为圆形、矩形平面靶，可铟焊绑定无氧铜背板。 MnO₂属于 n 型半导体氧化物，电阻率较高，一般采用 RF 射频磁控溅射；溅射薄膜具备优异的赝电容特性、催化活性与气敏性能。靶材脆性大，加工、转运、绑定过程需防止磕碰崩边；高温下易分解析氧，溅射时需留意工艺温度。
| 二氧化锰靶材（MnO2）产品应用 |
薄膜应用：
1. 储能器件（最主要用途）：薄膜超级电容器、微型薄膜锂电池、柔性电池的电极薄膜，利用赝电容特性，提升储能容量；芯片电源、RFID 微型储能器件。
2. 气敏传感器：制备 VOC、酒精、可燃气体传感薄膜，是经典金属氧化物气敏材料。
3. 催化薄膜：光电催化、电催化薄膜，用于水处理、分解反应等研究。
4. 半导体与微纳加工：MEMS 器件、微型电子器件功能薄膜，科研实验薄膜沉积。
5. 光学涂层：部分特种光学吸收、防护涂层研发。
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