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产品中心
PRODUCTS
二氧化锆靶材（ZrO2）
| 二氧化锆靶材（ZrO2）基本信息 | |
| 分子式 | ZrO2 |
| 纯度 | 99.95% |
| CAS号 | 1314-23-4 |
| 摩尔质量 | 123.22 g/mol |
| 密度 | 5.68 g/cm³ |
| 熔点 | 2715 ℃ |
| 沸点 | 4300 ℃ |
| 溶解性（水） | 不溶于水、稀酸、碱；可被热浓氢氟酸、热浓硫酸腐蚀 |
二氧化锆靶材（ZrO2）产品概况
氧化锆靶材为白色陶瓷坯体；纯 ZrO₂存在晶型相变（单斜 / 四方 / 立方），烧结冷却容易开裂，所以工业镀膜大多采用钇稳定氧化锆 YSZ 靶，抑制相变，提升靶材力学稳定性。 采用热压 / 常压烧结 / SPS 放电等离子烧结制备，可绑定铜背靶；薄膜具备高折射率、高硬度、高介电常数、耐高温、耐腐蚀特性。
| 二氧化锆靶材（ZrO2）产品应用 |
薄膜应用：
1. 光学镀膜（最大应用）：高折射率光学薄膜，和 SiO₂搭配制备多层增透膜、高反膜、激光滤光片、红外光学元件、低辐射 Low-E 玻璃涂层。
2. 固体氧化物燃料电池 SOFC：8YSZ 靶沉积固体电解质薄膜，高温氧离子传导层。
3. 半导体与 MEMS：高 k 介质层、MIM 电容介质、MEMS 器件绝缘保护层、耐高温阻挡层。
4. 耐磨防护涂层：刀具、模具、精密零部件硬质耐磨保护膜，高硬度、抗划伤、耐腐蚀。
5. 氧传感器：高温氧敏薄膜，汽车氧传感器、高温气体检测器件。
6. 生物医疗：医用植入件耐磨防护薄膜，生物相容性保护层。
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