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碳化锆靶材(ZrC)

碳化锆靶材(ZrC)
  • 碳化锆靶材(ZrC)
碳化锆靶材(ZrC)基本信息
分子式ZrC
纯度99.5%
CAS号12070-14-3
摩尔质量103.23 g/mol
密度6.73 g/cm³
熔点3540 ℃
沸点5100 ℃
溶解性(水)不溶于水、稀盐酸;可溶于热浓硫酸、氢氟酸 + 硝酸混合酸

碳化锆靶材(ZrC)产品概况

碳化锆靶材为暗灰色带金属光泽块体,面心立方氯化钠型晶体;超高熔点、高硬度、良好导热导电、优异抗热震性,属于超高温陶瓷材料。 采用粉末冶金热压 / SPS 放电等离子烧结制备,可绑定铜背靶适配磁控溅射。

碳化锆靶材(ZrC)产品应用

薄膜应用:
1. 航空航天 / 高超音速:超高温热防护薄膜,飞行器前缘、喷管耐高温抗烧蚀涂层,抗高温氧化、抗热震。
2. 刀具模具硬质涂层:切削刀具、模具耐磨硬质膜,高硬度、抗磨损,提升高温工况下使用寿命。
3. 半导体与 MEMS:高温扩散阻挡层、MEMS 耐高温保护层、核相关器件薄膜,耐辐照、热稳定性强。
4. 核工业:核燃料包壳表面改性薄膜,耐辐照、耐高温,反应堆相关防护涂层。
5. 光学镀膜:红外高发射率薄膜、高温光学元件保护涂层。
6. 科研:超高温陶瓷薄膜、极端环境材料基础研究。

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