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碳化钛靶材（TiC）

碳化钛靶材（TiC）
  • 碳化钛靶材（TiC）
碳化钛靶材（TiC）基本信息
分子式TiC
纯度99.5%
CAS号
摩尔质量
密度
熔点
沸点
溶解性（水）

碳化钛靶材（TiC）产品概况

碳化钛靶材是以高纯钛粉（≥99.95%）与纳米炭黑（≥99.9%）为原料，通过放电等离子烧结（SPS）、热等静压（HIP） 或反应熔渗法制备的立方晶系硬质镀膜源，纯度≥99.5%，密度≥4.92 g/cm³（相对密度≥98%）。其核心价值在于 “三高协同”：

  • 高导电性（电阻率25-50 μΩ·cm，媲美金属）；

  • 超强耐磨性（硬度2800-3200 HV，切削工具寿命↑300%）；

  • 极端热稳定性（抗氧化＞1100℃，匹配航空合金基底）。


碳化钛靶材（TiC）产品应用

✅ ​场景化解决方案​
​◉ 高效切削刀具
​纳米复合涂层体系​
​结构​：TiC(150nm)/AlTiN(50nm) 100周期叠层
​性能​：车削Inconel 718刀具寿命达42分钟（SANDVIK验证）
​创新点​：(111)晶面抑制柱状晶生长（膜层致密度＞99.5%）
​◉ DRAM存储电极
​3D NAND通道孔电极​
电阻率＜20μΩ·cm（@10nm厚度）｜阶梯覆盖性＞95%
​工艺方案​：HiPIMS脉冲溅射（脉宽50μs｜频率500Hz）
​◉ 航空航天轴承
​高温自润滑镀层​
摩擦系数＜0.15（800℃）｜PV值＞300MPa·m/s
​复合设计​：TiC-20%WS₂共溅射（纳米WS₂相原位释放）
​◉ 聚变堆第一壁
​抗等离子体装甲​
耐He⁺辐照＞10²³ ions/m²｜热负荷＞8MW/m²
​材料体系​：W/TiC梯度过渡层（界面热应力降低80%）

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