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二硅化钼(MoS2)靶材

二硅化钼(MoS2)靶材
  • 二硅化钼(MoS2)靶材
二硅化钼(MoS2)靶材基本信息
分子式MoSi₂
纯度99.5%~99.99%
CAS号12136-78-6
摩尔质量152.11 g/mol
密度6.23~6.31 g/cm³
熔点1900~2050°C
沸点N/A
溶解性（水）不溶于水和大多数酸

二硅化钼(MoS2)靶材产品概况

二硅化钼（MoSi₂）靶材是通过 PVD 磁控溅射工艺沉积二硅化钼功能薄膜的核心原材料。它以金属与陶瓷双重特性著称 —— 既有金属的导电性和导热性，又有陶瓷的高熔点和优异高温抗氧化性，是高温结构材料和电热元件领域的经典材料。
早在 1907 年，MoSi₂ 就用作金属高温防腐涂层；20 世纪 50 年代开始用作电热元件，至今仍是高温炉最主流的发热体材料之一。

  • 外观：深灰色致密体，表面可抛光

  • 晶型：四方晶系（C11b 型）

  • 常见形态：圆盘靶、矩形板靶、旋转管靶、颗粒 / 蒸发料

  • 制备工艺：钼粉 + 硅粉配料 → 高温自蔓延合成（SHS）或熔炼 → 粉碎球磨 → 热压 / 放电等离子烧结（SPS）→ 精密加工 → 检测

  • 靶材致密度：通常 ≥98%


二硅化钼(MoS2)靶材产品应用

① 高温抗氧化涂层（航空航天核心应用）
MoSi₂ 是目前最优秀的高温抗氧化涂层材料之一。涂覆在钼、钨、铌等难熔金属表面，高温下形成 SiO₂ 钝化层，可将基体的抗氧化温度从 500°C 提升至 1700°C 以上。广泛用于航空发动机涡轮叶片、燃气轮机燃烧器、尾喷管、导弹燃烧室等高温部件。
② 电热元件（最广泛的工业应用）
MoSi₂ 发热体（U 型棒 / 棒状）可在空气中直接使用至 1800°C，无需保护气氛，寿命长、不老化，性能优于传统硅碳棒（SiC）。广泛用于实验室高温炉、玻璃熔化炉、陶瓷烧结炉、电子元件烧结炉等。这是 MoSi₂ 最大宗的应用领域。
③ 半导体栅极 / 互连线（难熔金属硅化物）
MoSi₂ 与 TiSi₂、WSi₂、TaSi₂ 同属难熔金属硅化物，具有低电阻率和高温稳定性，用于大规模集成电路的栅极电极和互连线薄膜，可降低 RC 延迟、提升器件速度。
④ 高温结构材料
MoSi₂ 基复合材料（如 SiC 颗粒增强 MoSi₂）用作高温结构件，如航空发动机热端部件、高温炉内衬、热电偶保护管、烧嘴喷嘴等。
⑤ 耐磨涂层
MoSi₂ 涂层硬度高、耐磨耐蚀，用于机械密封件、阀门、泵体等部件的表面防护。
⑥ 高温炉热电偶保护管
MoSi₂ 陶瓷管用作高温热电偶保护套管，可在氧化气氛中长期使用至 1700°C。

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