- H氢
- He氦
- Li锂
- Be铍
- B硼
- C碳
- N氮
- O氧
- F氟
- Ne氖
- Na钠
- Mg镁
- Al铝
- Si硅
- P磷
- S硫
- Cl氯
- Ar氩
- K钾
- Ca钙
- Sc钪
- Ti钛
- V钒
- Cr铬
- Mn锰
- Fe铁
- Co钴
- Ni镍
- Cu铜
- Zn锌
- Ga镓
- Ge锗
- As砷
- Se硒
- Br溴
- Kr氪
- Rb铷
- Sr锶
- Y钇
- Zr锆
- Nb铌
- Mo钼
- Tc碍
- Ru钌
- Rh铑
- Pd钯
- Ag银
- Cd镉
- In铟
- Sn锡
- Sb锑
- Te碲
- I碘
- Xe氙
- Cs铯
- Ba钡
- LaLu镧系
- Hf铪
- Ta钽
- W钨
- Re铼
- Os锇
- Ir铱
- Pt铂
- Au金
- Hg汞
- Tl铊
- Pb铅
- Bi铋
- Po钋
- At砹
- Rn氡
- La镧
- Ce铈
- Pr镨
- Nd钕
- Pm钷
- Sm钐
- Eu铕
- Gd钆
- Tb铽
- Dy镝
- Ho钬
- Er铒
- Tm铥
- Yb镱
- Lu镥
点击可查看包含对应元素的相关产品信息
科泰新材料可提供“元索周期表”近乎全元素(除放射性元素外)的任意组合材料定制，
部分产品未及时更新，特殊定制需求请咨询客服。
- Al铝
- Ar氩
- As砷
- Ag银
- Au金
- At砹
- Be铍
- B硼
- Br溴
- Ba钡
- Bi铋
- C碳
- Cl氯
- Ca钙
- Cr铬
- Co钴
- Cu铜
- Cd镉
- Cs铯
- Ce铈
- Dy镝
- Eu铕
- Er铒
- F氟
- Fe铁
- Ga镓
- Ge锗
- Gd钆
- H氢
- He氦
- Hf铪
- Hg汞
- Ho钬
- In铟
- I碘
- Ir铱
- K钾
- Kr氪
- Li锂
- LaLu镧系
- La镧
- Lu镥
- Mg镁
- Mn锰
- Mo钼
- N氮
- Ne氖
- Na钠
- Ni镍
- Nb铌
- Nd钕
- O氧
- Os锇
- P磷
- Pd钯
- Pt铂
- Pb铅
- Po钋
- Pr镨
- Pm钷
- Rb铷
- Re铼
- Rn氡
- Ru钌
- Rh铑
- Si硅
- S硫
- Sc钪
- Se硒
- Sr锶
- Sn锡
- Sb锑
- Te碲
- Sm钐
- Ti钛
- Tc碍
- Ta钽
- Tl铊
- Tb铽
- Tm铥
- V钒
- W钨
- Xe氙
- Yb镱
- Y钇
- Zn锌
- Zr锆
产品中心
PRODUCTS
硅化锆靶材(ZrSi2)
| 硅化锆靶材(ZrSi2)基本信息 | |
| 分子式 | ZrSi2 |
| 纯度 | 99.5% |
| CAS号 | 12039-90-6 |
| 摩尔质量 | 147.395 |
| 密度 | 4.88 |
| 熔点 | 1790ºC |
| 沸点 | |
| 溶解性（水） | 不溶于水。它不溶于酸、碱和王水。 |
硅化锆靶材(ZrSi2)产品概况
硅化锆靶材（ZrSi₂）是以高纯锆、硅为原料，经真空热压烧结工艺制备的金属陶瓷材料，纯度≥99.95%，密度≥4.5 g/cm³。其兼具高熔点（＞2200℃）、优异抗氧化性及半导体兼容特性，适配磁控溅射、电弧离子镀等工艺，用于沉积集成电路接触层、高温防护涂层及光伏薄膜。产品具备低电阻率（＜200 μΩ·cm）、高膜层致密性及耐腐蚀性能，支持成分比例调控（如Zr/Si比）与尺寸定制（直径≤400mm），满足半导体器件、核反应堆包壳及航空航天高温部件表面强化需求，是高性能电子与极端工况防护领域的核心镀膜材料。
| 硅化锆靶材(ZrSi2)产品应用 |
主要应用于半导体扩散阻挡层、高温防护涂层及核反应堆材料表面工程
产品需求
PRODUCT DEMAND
-
微信扫一扫实时报价
-
微信公众号
-
关注微信视频号
-
抖音扫码，加我好友