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磷化钽靶材(TaP)

磷化钽靶材(TaP)
  • 磷化钽靶材(TaP)
磷化钽靶材(TaP)基本信息
分子式TaP
纯度99.95%
CAS号12037‑63‑7
摩尔质量211.92 g/mol
密度8.42 g/cm³
熔点1580‑1630 ℃(高温磷挥发分解,无稳定熔融态)
沸点无实测沸点,高温发生磷组分热分解挥发
溶解性(水)不溶于水、稀酸、稀碱;可被热浓强酸、熔融强碱腐蚀分解

磷化钽靶材(TaP)产品概况

科研级射频磁控溅射靶材,魏尔拓扑半金属材料;高温磷易挥发,无标准常压沸点;薄膜为射频磁控溅射制备, 采用真空热压工艺制作而成。

一磷化钽薄膜性能(磁控溅射)。


磷化钽靶材(TaP)产品应用

薄膜应用
1. 先进微电子互连
2. 拓扑自旋电子器件
3. 磁阻传感器件
4. 能源催化
5. 非线性光电器件
6. 基础科研
备注:TaP 属于科研开发阶段靶材,尚未大规模工业化量产;制备与溅射全过程需管控磷高温挥发问题,注意区分 TaP(一磷化钽)与 TaP₂(二磷化钽)。

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