科泰新材料可提供“元索周期表”近乎全元素(除放射性元素外)的任意组合材料定制,
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| 氮化钨(WNₓ)溅射靶材基本信息 | |
| 分子式 | WNₓ |
| 纯度 | 99.9% |
| CAS号 | |
| 摩尔质量 | |
| 密度 | |
| 熔点 | |
| 沸点 | |
| 溶解性(水) | |
氮化钨靶材采用高纯钨粉(≥99.99%)与高纯氮气(≥99.999%)为原料,通过 反应等离子烧结(RPS) 工艺制备的高硬度、高导电性复合陶瓷靶材。核心特性包括:
相结构精确可控(β-W₂N为主相,可调W₃N、WN相)
超高密度≥99.5%(孔隙率<0.3%)
超低氧含量(O<30ppm,C<15ppm)
纳米级晶粒尺寸(平均晶粒尺寸 20-80nm)
在直流磁控溅射中实现 薄膜电阻率<150μΩ·cm,硬度 >25GPa,与铜的附着力 >40MPa。
• 维氏硬度 25-30GPa(接近立方氮化硼)
• 电阻率 120-200μΩ·cm(媲美高导电金属)
• 摩擦系数 0.4-0.5(自润滑特性)
• 抗氧化温度 >700℃(表面形成致密WO₃保护层)
• 铜扩散阻挡温度 >650℃(硅基衬底)
• 优异的抗热震性(ΔT>500℃循环无开裂)
• 耐强酸腐蚀(王水中失重率<0.1mg/cm²·h)
• 低氢渗透率(<10⁻¹³ mol H₂/m·s·Pa)
| 氮化钨(WNₓ)溅射靶材产品应用 |
主导应用覆盖先进半导体与高端制造
1. 纳米集成电路
▸ Cu/Co互联扩散阻挡层(厚度<5nm,方块电阻<10Ω/□)
▸ 三维存储器(3D NAND)阶梯接触孔填充(深宽比>10:1)
2. 超硬耐磨涂层
▸ 精密刀具镀层(铣刀、钻头寿命提升 3-8倍)
▸ 模具表面强化(冲压/注塑模具寿命延长 >5倍)
3. 新能源与储能
▸ 锂离子电池集流体涂层(提升硅负极循环寿命 >300次)
▸ 质子交换膜燃料电池双极板防护层(接触电阻 <8mΩ·cm²)
4. 光学与传感器
▸ 红外隐身涂层(3-5μm波段发射率 <0.3)
▸ 高灵敏度气体传感器催化层(对NO₂检测限 <1ppm)