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铝铬靶材(Al-Cr)

铝铬靶材(Al-Cr)
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铝铬靶材(Al-Cr)基本信息
分子式AlCr
纯度99.9%、99.99%
CAS号无独立 CAS
摩尔质量随配比变化
密度Cr 占比越高,密度越大
熔点无单一熔点
沸点无统一沸点
溶解性(水)不溶于水

铝铬靶材(Al-Cr)产品概况

薄膜应用:

  1. 刀具模具 PVD 硬质涂层(最核心用途):反应溅射生成 AlCrN 氮化铝铬涂层,用于 CNC 铣刀、钻头、车刀片、冲压模具、压铸模具;耐高温、高耐磨,提升切削速度与刀具寿命,替代传统 TiAlN 涂层。

  2. 工业耐磨防腐涂层:机械零部件、航空汽车零件表面防护膜,AlCrO/AlCrON 复合膜,抗高温氧化、耐腐蚀。

  3. 装饰镀膜:高端五金、消费电子外壳、建筑不锈钢,制备深灰耐磨金属装饰薄膜。

  4. 光学功能薄膜:光学元件耐磨保护层、稳定反射膜、防刮膜层。

  5. 半导体与显示行业:TFT、OLED、LCD 器件,制备阻挡层、电极薄膜;也用于光伏薄膜研发。

  6. 科研开发:多元氮化物、纳米复合薄膜、高温合金薄膜基础研究。


铝铬靶材(Al-Cr)产品应用

铝铬靶材是高纯铝铬二元合金溅射靶,主流制备工艺:粉末冶金(热等静压 HIP),少数采用真空熔炼;可制成圆靶、矩形平面靶、旋转管状靶,可绑定铜背板(In 焊),适配 DC 磁控溅射、电弧离子镀设备。
- 外观:银灰色金属,细晶组织;粉末冶金工艺靶晶粒均匀,溅射时液滴少,膜层稳定性好。
- 核心特点:反应溅射制备 AlCrN 涂层,抗氧化温度可达 1100℃以上,高硬度、高热硬性、耐磨抗腐蚀,是刀具涂层行业主流靶材,成分可调,通过调整 Al/Cr 比例调控薄膜硬度、抗氧化性能。

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