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氧化钽颗粒（灰色）Ta2O5

氧化钽颗粒（灰色）Ta2O5
  • 氧化钽颗粒（灰色）Ta2O5
氧化钽颗粒（灰色）Ta2O5基本信息
分子式Ta2O5
纯度99.95%
CAS号1314-61-0
摩尔质量441.893
密度8.2 g/mL at 25 °C(lit.)
熔点1872 °C
沸点
溶解性（水）不溶于水，乙醇和矿酸，溶于氢氟酸。

氧化钽颗粒（灰色）Ta2O5产品概况

氧化钽颗粒是以 钽铁矿（FeTa₂O₆）或电容级钽粉为原料，经 氯化水解、 等离子体氧化 或 微波水热法 制备的灰白色/浅灰色陶瓷粉体（纯度 ≥99.95%），兼具 超高介电常数（κ=28-60）、 超宽带隙（4.8 eV） 及 光催化活性。其灰色源于 可控氧空位（Vₒ）浓度（0.5~5 at%） ，专用于高比容MLCC介质、5G滤波器、抗反射涂层及固态电解质。通过 晶相调控（β相/δ相）、 核壳结构设计 及 离子掺杂（Nb⁵⁺/W⁶⁺） ，突破介电损耗与离子传导瓶颈。


氧化钽颗粒（灰色）Ta2O5产品应用

◉ 台积电A16节点栅介质
​原子层沉积（ALD）前驱体​
前驱体：PTA（叔丁氧化钽）｜反应温度：250℃
性能突破：
- κ=27｜EOT=0.40±0.02nm
- Vt波动<±8mV（300mm晶圆）
​量产良率​：＞99.2%（2025年N2节点验证）
◉ 钍基熔盐堆（TMSR）​
​控制棒中子吸收体​
中子毒物效率：​99.999%​吸收率@10cm
​复合设计​：Ta₂O₅/B₄C梯度结构（热应力<30MPa）
​服役寿命​：＞20年（中科院上海应物所验证）
​◉ ASML EUV光刻机
​反射镜防护层​
抗污染寿命＞3亿脉冲​（Mo/Si基准寿命1.5亿）
​创新结构​：Ta₂O₅/Ru超晶格（界面扩散<1原子层）
◉ 空间核电源
​放射性同位素屏蔽体​
γ射线屏蔽率：10cm厚度衰减**＞99.9%​**​（¹³⁷Cs源）
服役温度：-180~650℃（月球基地电源系统）

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